Wysoko-precyzyjne, ultra-rozwiązanie do osadzania cienkowarstwowego w-zamkniętych środowiskach próżniowych

Wysoko-precyzyjne, ultra-rozwiązanie do osadzania cienkich warstw w środowiskach próżniowych-szczelnych

 

W-najnowocześniejszych dziedzinach produkcji, takich jak osadzanie cienkich warstw półprzewodników, precyzyjne powlekanie optyczne i nowe powłoki funkcjonalne energetycznie, tradycyjne procesy natryskiwania prowadzone w warunkach atmosferycznych nie są w stanie sprostać wymaganiom w zakresie-precyzyjnego i-czystego przygotowania cienkich warstw. Technologia natryskiwania ultradźwiękowego z kołnierzem próżniowym 60 kHz, oparta na zasadzie atomizacji ultradźwiękowej o wysokiej-częstotliwości i w połączeniu z specjalnie-zaprojektowanym systemem zasilania pompą wtryskową, zapewnia stabilne i precyzyjne natryskiwanie w całkowicie próżniowym-środowisku, całkowicie unikając zakłóceń atmosferycznych. Stało się to podstawowym rozwiązaniem procesowym do próżniowego wytwarzania cienkich warstw i przetwarzania mikro/nanopowłok, odpowiednim dla różnych scenariuszy zintegrowanej produkcji i eksperymentalnych badań i rozwoju w komorach próżniowych.

 

I. Podstawowa zasada technologii:-Adaptacyjny mechanizm ultradźwiękowej atomizacji o wysokiej-częstotliwości próżniowej

Preferowanym pasmem wysokiej-częstotliwości w przemyśle precyzyjnym natryskiwaniu atomizacyjnym jest 60 kHz. W porównaniu z natryskiwaniem ultradźwiękowym o niskiej-częstotliwości 20 kHz i 40 kHz, to pasmo zapewnia wyższe częstotliwości wibracji i większą precyzję atomizacji. Dzięki wibracjom mechanicznym o wysokiej-częstotliwości ciekłe powłoki, roztwory prekursorów, zawiesiny funkcjonalne i inne media mogą zostać rozerwane na ultradrobne kropelki o jednakowej wielkości-mikronowej. Skoncentrowany rozmiar kropelek i niska dyspersja stanowią podstawę do jednolitego tworzenia filmu. W przeciwieństwie do konwencjonalnych urządzeń do natryskiwania ultradźwiękowego typu otwartego, technologia ta wykorzystuje-konstrukcję z uszczelnionym kołnierzem próżniowym, co pozwala zrezygnować z tradycyjnego trybu atomizacji gazu nośnego za pomocą sprężonego powietrza. Ponieważ w całym procesie nie bierze się udziału gazu nośnego, zasadniczo unika się zakłóceń przepływu powietrza w środowisku komory próżniowej, doskonale dostosowując się do warunków uszczelnienia próżniowego.

 

Dysza rdzeniowa urządzenia płynnie łączy się z komorą próżniową za pomocą standardowego kołnierza próżniowego. Całkowitą szczelną architekturę można dostosować do warunków próżni w zakresie od 13 Pa do 133 Pa. Nawet w warunkach podciśnienia w komorze utrzymuje stabilne-wibracje o wysokiej częstotliwości bez wycieków, tłumienia atomizacji lub braku równowagi ciśnień. W środowisku próżniowym na najdrobniejsze kropelki nie ma wpływu opór powietrza ani utlenianie, osadzając się równomiernie i równomiernie na powierzchni podłoża. Znacznie poprawia się zdolność rozprowadzania kropelek, tworząc gęstą, jednolitą, pozbawioną dziur-ultra-ultra cienką powłokę funkcjonalną, która rozwiązuje problemy branżowe związane z dyspersją kropel, aglomeracją utleniającą i nierówną grubością powłoki spotykaną podczas natryskiwania atmosferycznego.

 

II. Podstawowe zalety systemu: Możliwości precyzyjnego natryskiwania dostosowane do warunków próżni

1. Pełna zdolność adaptacji do próżni, wyjątkowo wysoka czystość procesu
Cały system ma zintegrowaną konstrukcję-z uszczelnionym kołnierzem, bez zewnętrznej konstrukcji wlotu powietrza, dzięki czemu można go w pełni dostosować do szczelnego środowiska pracy w komorze próżniowej. Może zakończyć cały proces natryskiwania w warunkach wysokiej próżni. W środowisku próżniowym nie ma zakłóceń powodowanych przez tlen, kurz lub parę wodną, ​​co skutkuje powłokami wolnymi od zanieczyszczeń utleniających i pozostałości cząstek, co znacznie poprawia czystość i stabilność folii funkcjonalnych. Idealnie pasuje to do scenariuszy produkcyjnych o wysokich wymaganiach dotyczących czystości, takich jak półprzewodniki, precyzyjna optyka i biomedycyna. Jednocześnie sprzęt jest kompatybilny z różnymi standardowymi komorami próżniowymi, umożliwia integrację modułową, jest łatwy w instalacji i charakteryzuje się dużą kompatybilnością, umożliwiając bezpośrednie połączenie z dalszymi procesami, takimi jak osadzanie próżniowe i wyżarzanie próżniowe.

 

2. Doskonała precyzja atomizacji, wyjątkowa jednorodność powłoki
Atomizacja ultradźwiękowa o wysokiej-częstotliwości 60 kHz charakteryzuje się niezwykle dużą stabilnością atomizacji, generując ultradrobne kropelki o jednolitej wielkości cząstek i wysokiej konsystencji. W połączeniu z dostosowaną do indywidualnych potrzeb pompą wtryskową zapewniającą precyzyjne dostarczanie cieczy-o stałym przepływie, całkowicie pozwala to uniknąć anomalii atomizacji spowodowanych wahaniami podaży cieczy. Końcowa powłoka osiąga jednorodność przekraczającą 95%, przy precyzyjnie kontrolowanej grubości powłoki na poziomie od nanometrów do mikrometrów. Powłoka jest gęsta, gładka, pozbawiona skórki pomarańczowej i porów. W porównaniu z tradycyjnymi procesami natryskiwania i powlekania wirowego jakość i konsystencja powłoki uległy znacznej poprawie, dzięki czemu nadaje się ona szczególnie do stosowania w przypadku ultracienkich powłok funkcjonalnych i precyzyjnych zastosowań natryskiwania-mikropowierzchni.

 

3. Szerokie możliwości adaptacji do mediów i duża kontrola procesu: wykorzystując charakterystykę atomizacji o wysokiej-częstotliwości 60 kHz i specjalnie-zaprojektowany regulowany system przepływu z pompą strzykawkową, sprzęt można dostosować do różnych mediów ciekłych, w tym roztworów wodnych, roztworów alkoholanów, atramentów przewodzących, fotomasek, nano-zawiesin i roztworów polimerów. Stabilne natryskiwanie atomizujące można osiągnąć zarówno przy użyciu odczynników śladowych o niskiej-lepkości, jak i zawiesin funkcjonalnych o średniej-lepkości. System umożliwia inteligentne zarządzanie formułami za pomocą ekranu dotykowego, przechowując wiele zestawów parametrów procesu natryskiwania. Rozpoczęcie procesu natryskiwania jednym-kliknięciem pozwala na precyzyjną kontrolę ścieżki natryskiwania, szybkości dostarczania cieczy, mocy atomizacji i parametrów próżni. Proces charakteryzuje się niezwykle wysoką powtarzalnością, dzięki czemu nadaje się zarówno do produkcji masowej, jak i zastosowań w badaniach laboratoryjnych.

 

4. Niezwykle niskie straty, energooszczędne
Natryskiwanie ultradźwiękowe opiera się na-wibracjach o wysokiej częstotliwości, aby osiągnąć atomizację bezciśnieniową. W połączeniu z precyzyjną pompą wtryskową do podawania cieczy, stopień wykorzystania powłoki jest znacznie wyższy niż w przypadku tradycyjnego natryskiwania pneumatycznego, praktycznie bez rozpraszania kropel i odpadów, co skutkuje wyjątkowo niskimi stratami materiału. Jednocześnie sprzęt charakteryzuje się niskim całkowitym poborem mocy i stabilną pracą. Tryb pracy w uszczelnieniu próżniowym- eliminuje potrzebę kolejnych procesów usuwania pyłu i zanieczyszczeń, upraszczając proces produkcyjny, znacznie poprawiając wydajność procesu oraz zmniejszając koszty produkcji i badań i rozwoju.

 

III. Podstawowe scenariusze zastosowań
Wykorzystując podstawowe zalety uszczelniania próżniowego, wysokiej precyzji, wysokiej czystości i dużej możliwości sterowania, ultradźwiękowy rozpylacz atomizujący z kołnierzem próżniowym 60 kHz + dostosowany do potrzeb zintegrowany system pompy wtryskowej jest szeroko stosowany w-wysokiej klasy precyzyjnych dziedzinach produkcji. W nowym przemyśle energetycznym można go stosować do natryskiwania warstw katalizatora ogniw paliwowych, osadzania cienkowarstwowej-warstwy funkcjonalnej ogniw słonecznych i przygotowania powłoki funkcjonalnej separatora baterii litowych; w przemyśle półprzewodników i elektroniki nadaje się do powlekania-mikropowierzchni chipów, powłok izolacyjnych-odpornych na wilgoć płytek drukowanych oraz procesów przezroczystych powlekania komponentów optoelektronicznych; w dziedzinie optyki precyzyjnej może wytwarzać optyczne-folie antyodblaskowe,-folie antyrefleksyjne i folie-odporne na zużycie ochronne; w dziedzinie biomedycyny nadaje się do-scenariuszy o wysokiej precyzji, takich jak funkcjonalne powlekanie chipów mikroprzepływowych i przygotowywanie folii bioczujnikowej.

 

IV. Podsumowanie techniczne Technologia natryskiwania ultradźwiękowego z kołnierzem próżniowym 60 kHz, w połączeniu z zaletami precyzyjnego dostarczania cieczy, jakie zapewnia dostosowana do indywidualnych potrzeb próżniowa pompa wtryskowa-, przełamuje wąskie gardła aplikacji tradycyjnych procesów natryskiwania w środowiskach próżniowych, osiągając precyzyjny proces natryskiwania charakteryzujący się uszczelnieniem próżniowym, wysoką precyzją, wysoką czystością i niskimi stratami. Ten zintegrowany system eliminuje zależność od gazu nośnego, jest uszczelniony, aby dostosować się do warunków próżni i zapewnia precyzyjną kontrolę zarówno nad atomizacją, jak i dostarczaniem cieczy. Doskonale spełnia wymagania procesu-wysokiej klasy preparatyki cienkowarstwowej i precyzyjnych powłok mikro/nano, wypełniając lukę technologiczną w zakresie drobnego natryskiwania atomizującego w warunkach próżniowych. Jest to niezastąpione podstawowe rozwiązanie w zakresie wyposażenia procesowego w dziedzinie-precyzyjnej produkcji wysokiej klasy oraz badań i rozwoju nowych materiałów, a w przyszłości granice jego zastosowania będą nadal rozszerzać się w-najnowocześniejszych branżach, takich jak półprzewodniki, nowa energia i precyzyjna optyka.